Wafer 두께측정기
| Sensor | Laser |
|---|---|
| Measuring Range | 4", 8" |
| Resolution | 0.01um |
| Accuracy | 2㎛ or below |
| Drive System | X,Y Servo Motor | Application | Wafer thickness |
＊위의 사항은 기능 향상을 위해 예고 없이 변경될 수 있습니다.
| Sensor | Laser |
|---|---|
| Measuring Range | 4", 8" |
| Resolution | 0.01um |
| Accuracy | 2㎛ or below |
| Drive System | X,Y Servo Motor | Application | Wafer thickness |
＊위의 사항은 기능 향상을 위해 예고 없이 변경될 수 있습니다.